微电子与固体电子学——上海交大
rickyice 发表于 2008-7-2 22:14:00

历史与现状:
本学科由1985年批准的原“电子材料与元器件”及“半导体物理与器件”硕士点合并成
“微电子学与固体电子学”硕士点,1998年被授予“微电子学与固体电子学”博士点,1
999年获准设长江计划特聘教授岗位,目前,有教授16名,院士1,博导10,研究基地有
“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室及“微米纳米加工技术”国防科技重点实验
室(上海部分)。

主要研究方向:
1、微加工及微机电系统:骨干:陈迪、赵小林、章吉良,教授4副教授2,内容:硅微
机械加工技术,非硅材料三维微加工技术,微器件及微系统研制,
2、薄膜电子材料及器件:骨干:蔡炳初,杨春生,周勇,教授5副教授2,内容:软磁薄
膜材料,巨磁阻抗,各向异性巨磁阻效应薄膜材料,形状记忆合金薄膜材料,纳米传感
器敏感材料,金刚石薄膜材料,微器件中的微磁学研究。
3、集成电路EDA技术及芯片设计,骨干:徐国治,秦建业,称后鹏,教授2副教授5,内
容:设计软件开发,集成电路芯片设计。
4、纳米科学与技术,骨干:王庆康,戴永兵,万永中,教授3副教授5,内容:纳米材料
,单电子晶体管研制及其集成技术研究,半导体介质结构纳米加工及光电器件研制,纳
米结构的力学问题,新型纳米传感器研究。
5、神经网络智能系统,骨干:胡光锐,陈洪亮,马殿光,教授2副教授4,内容:智能计
算与知识处理,语音处理与神经智能等。

 


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